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泵 (FPD用電動CT泵)
在要求均一涂膜的液晶、PDP、有機EL等基板用涂膠對應電動泵。高信賴的CT泵構造更加進化、能夠控制定流量。大吐出量：30ml、60ml、100ml、200ml、可以根據顧客基板的尺寸結合用途選擇泵。
 

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型
●適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.05MPa      3～30         0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型
●適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.05MPa             6～60            0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型
●適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.05MPa            10～100            0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型
●適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.05MPa      20～200            0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型
●適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.05MPa            30～300            0.1～12

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型
●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵 
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.15MPa      0.5～6       0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型
●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵 
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）
大吐出壓力    吐出量 ml    吐出.輸入流量 ml/s
0.15MPa      0.5～10            0.1～4